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詳細介紹
| 品牌 | 科冪儀器 | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃//min |
|---|---|---|---|
| 內部尺寸 | Φ80*220mmmm | 加熱方式 | 電阻絲 |
| 最大功率 | 3KkW | 控溫精度 | ±1℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ | 價格區間 | 面議 |
| 儀器種類 | 管式爐 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子,冶金,綜合 |
單溫區PE-CVD系統
特點：高(gao)性能射頻電源.等離子體更穩定；
滑軌式結構能(neng)使整個(ge)反應(ying)腔室都處于輝(hui)光產生區(qu).并可實現(xian)快速升溫和降溫功能(neng)；
單(dan)溫區(qu)PE-CVD系統與(yu)傳(chuan)統CVD相比較.生長(chang)溫度更低
技(ji)術參數
項(xiang)目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 單溫區(qu)PE-CVD系(xi)統(tong) |
可達溫度 | 1150℃（短(duan)期） | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推(tui)薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐(lu)管尺寸(cun) | Φ30/50/60*1200mm | |
爐(lu)膛(tang)尺寸(cun) | Φ80*220mm | |
加(jia)熱區長度 | 220mm | |
恒溫區(qu)長度 | 80mm | |
加(jia)熱元(yuan)件(jian) | 優質國產電阻絲(si) | |
額定功率(lv) | 3KW | |
供氣系統 | 三路高精(jing)度MFC 量(liang)程0-500sccm（可定(ding)制） | |
射(she)頻電源(yuan) | 射(she)頻(pin)功：5-500W；射(she)頻(pin)頻(pin)：13.56MHz；匹配方式：自動匹配 | |
真空系統 | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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